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      全國服務(wù)熱線

      產(chǎn)品展示

      SBC-16磁控離子濺射儀
      產(chǎn)品描述:

      SBC-16 是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

      • 產(chǎn)品型號

      • 更新時間

        2025-04-27
      • 廠商性質(zhì)

        生產(chǎn)廠家
      • 瀏覽次數(shù)

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      詳細介紹


      主要特性

      1、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

      2、操作容易快捷, 控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

      3、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。

      4、可使用多種金屬靶材:AuAu/Pd,,Pt,,Pt/PdAu 靶為標配), 靶材更換快速方便。


      技術(shù)參數(shù)

      濺射系統(tǒng)

      靶材

      Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm

      標準樣品臺

      可以裝載 12 SEM 樣品座,高度可調(diào)范圍 60mm

      旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(選配)

      旋轉(zhuǎn)速度: 0~60rpm 連續(xù)可調(diào),傾斜角度: -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào);

      不銹鋼腔體:直徑 120mm X 75mm;

      觀察窗:直徑 120mm X 45mm

      標配旋轉(zhuǎn)臺直徑 40mm,可放 4 個標準樣品臺, 其它規(guī)格可訂

      做; 具有雙重鎖緊裝置, 可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時不會松動脫

      落。

      濺射電流

      微處理器控制, 安全互鎖,可調(diào),電流 5~30mA,程序化數(shù)字控制

      計量表

      真空:  Atm - 1*10-3 mbar,電流: 0~99mA

      控制方法

      帶有 “開始"“暫停"按鈕的微處理控制器(1999s),自動抽氣、濺

      射、關(guān)機后自動放氣。

      真空系統(tǒng)

      抽氣速率

      133L/MIN

      極限真空

      10-4  mbar

      噪音

      56dB





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